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1、臭氧浓度：10～1000±10pphm 2、臭氧浓度偏差:≤10% 3、温度范围：RT+10℃～＋80℃ 4、温度波动度：±0.5℃ 5、温度均匀度：±2℃ 6、相对湿度：50~90% 7、气流流速：8mm/s~20mm/s，在范围内可调
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